一家领先的半导体行业精密技术制造商正在开发一种先进的晶圆探测检测机,用于高度自动化、高通量的晶圆测试。带有XY工作台的机器总共包含15个以上的运动轴,其中4个Elmo轴执行关键/高性能机器运动。白金大师也被选为所有运动轴的主控制器。
晶圆探测机是半导体制造过程中使用的自动测试机,用于在将晶圆切割成单个晶圆之前,对每个晶圆芯片的集成电路进行电气测试。在此过程中,两个探针从一个集成电路移动到另一个集成电路(尽快),测量和评估电路中晶体管、互连和其他元件的电气特性。因为这些测量需要非常精确,所以系统内的电气噪声必须保持在最低限度。
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